“好,下面我們要說的便是圓片檢測和處理系統,Intel的圓片檢測系統的合作商是Olympus Integrated Technologies America,由於這裡面涉及到一些商業祕密我也不好多做透lou,不過我還是可以告訴你選這個系統有個要注意的地方便是能不能對圓片光學全頂、邊緣、傾角和背端缺陷進行檢測。 ”
“虞博士,其實我們還需要這些系統的配套措施,如上料模組、圓片搬送機械手、前端模組、綜合氣體系統、真空平臺和裝置控制軟體。 我知道這些東西也不是Intel自己生產的,但是我希望到時候你和Intel能夠介紹一些比較有能量的半導體裝置生產商,我們需要採購這些用在處理和測量上的儀器。 在裝置自動化方面我們需要仰仗Intel,但是在工廠軟體自動化方面我相信我們龍騰不遜於任何一家軟體生產商,我想我們可以與Intel進行某些方面的合作。 ”說到自己公司的長處,張國棟也是雙眼放光。
“呵呵。 這個我倒是聽說了,聽說你們龍騰科技目前是世界上排名前三的獨立軟體生產商,很不錯啊,要知道能軟能硬的公司可不多呢。 ”虞有程說到這裡也是哈哈大笑,顯然對於張國棟取得的成績非常欣賞。
“這樣吧,你明天過來。 我會請總裁葛洛夫先生一起過來的,到時候我會讓一些技術人員過來做一些說明性講解,既然你們要涉足晶圓地生產,那麼我希望你們能取得成功。 我會讓這些技術員儘量說仔細一點的,到時候能記下多少就看你啦。 ”
“那我就謝謝虞博士了,這裡是我從祖國大陸帶過來的一點茶葉,也沒什麼好禮物。 就權當我這個做晚輩的一點謝意吧。 ”說著張國棟拿出了自己準備好的禮物,中國人之間對於這種小禮物的贈送都表示理解。 畢竟這是中國的傳統文化。 虞有程非常高興地收下了張國棟的茶葉,雖然以他地薪資沒什麼茶是他喝不起的,可是這茶喝的是一種心情。
出了虞有程的別墅,張國棟一時之間有些茫然,不知道是不是應該去看望看望楊柳,可是上次楊柳那個樣子,張國棟依然記得當時她那表情。 所以又吃不準會不會吃閉門羹。 最後下定決心的張國棟還是決定不去了,還是去斯坦福大學和麻省理工學院去找找前世認識的那些教授,以前大家在一起都是稱兄道弟的,現在張國棟比他們矮了一輩了,最重要地是他們可能根本就不待見張國棟啊。
隨機選擇了一個教室,張國棟悄悄的走了進去,講臺上教授正在手舞足蹈的講解著什麼,下面的同學也聽得非常認真。 並時不時的有同學站起來發表自己的意見,這與後世中國的大學課堂截然不同。 西方的大學上課一班是小班級講課,除非是教授做報告,而中國地課堂常常是一百多人,前面老師在講後面睡倒一片,特別是什麼毛澤東思想概論。 馬克思主義哲學,鄧小平理論與三個代表,法律基礎等等這一系列的課程,逃課的就不用說了,去了的在聽課的估計能有個百分之二三就非常不錯。 這也是開這一系列課程的老實地悲哀,自己的教學成果完全得不到理解。
浮想聯翩的張國棟可不知道自己已經被人注意到了,直到旁邊一個黑人小夥推了推他,然後對他咧嘴一笑,lou出潔白的牙齒,進而張國棟便聽到教室中傳來鬨然大笑。 直到幾分鐘後張國棟才知道原來是老師在問他對於美國出現的網路的看法。 本來張國棟是不想開口的。 不過看到老師那鼓勵的眼神。 還有同學在後面起鬨的樣子,張國棟也是決定說點火爆的。 震驚他們一下。 於是他站了起來。
“我們都知道Intel已經發布了他們地386晶片,來自於中國地龍騰科技還有荷蘭的Bell以及美國地戴爾還有康博都發布了基於Intel 386晶片的386電腦,可以說微機正在漸漸的走入人們的生活。 這一點是毫無疑問的。 以前計算機是專業人士的工具,可是自從網路創世紀這款遊戲釋出以來我們發現原來計算機也可以用來娛樂。 然後來自於古老東方的香港發售的幾款PC遊戲都讓我們看到了電腦的魅力。 特別是音效卡運用在計算機上面後,從此我們的計算機拖離了單純的機械音而進入到豐富的複合音時代,可以說一個多媒體時代即將到來。 ”
“以前出現的計算機還只是一個個的個體,這限制了我們計算機的用途。 可是隨著美國的思科公司發明出了他們的路由器,以及由美國軍方阿帕奇網路發展過來的民用網路出現後,我們可以說,一個資訊高速公路的時代即將到來!網路拉近了我們彼此間的距離,可以讓我們更好的實現資源的共享。 我們可以假設這樣的場景,我們在下載別人計算機上的資源時,如果別人也下載我們的,那麼我們就是斷到斷的共享應用。 如果我們只作為資料輸出方的話那我們就是伺服器客戶端模式。 網路畢竟成為未來的強大助力。 特別是隨著網路的出現,公司已經出現了無紙化辦公的環境,人們的工作方式必將隨著網路的到來而發生巨大的改變。 如果我們抗拒它,我們必然被時代淘汰。 如果我們接受它並主動駕馭它,那麼我們就將贏得未來!”
如果一開始有些人還抱著戲謔心理的話,那麼十分鐘後他們就結結實實的被張國棟給震倒了,教室裡安靜急了。 然後就是一陣熱烈的掌聲傳出,不斷有人吹著口哨。 年輕教授待掌聲漸漸安靜後繼續問道,
“那你能不能給我們說說基於網路有哪些應用呢?”說完帶著期盼和鼓勵地眼神望著張國棟。
“我想我有必要自我介紹一下,我是來自中國的龍騰科技的老闆張國棟,凡是用過ZIP格式的壓縮軟體的同學應該知道,這就是我們的代表性軟體。 ”張國棟微笑著介紹自己道,他不介意在這個世界知名學府裡面擴充套件自己公司的影響力。 這也是一個為公司做宣傳地好機會。
“Oh,你就是ACM程式設計競賽中那個神奇的Chuang吧。 我記得你。 ”同學人群中一個聲音傳出,很顯然這位小帥哥也是當初受過張國棟打壓地傢伙,要知道張國棟當年可是比第二名整整提高了一個小時啊。
“呵呵,真是榮幸,想不到在這裡竟然還會有人記得我。 沒錯,我的確就是當年那個可惡的Chuang。 說起網路的應用我不得不提及一項我們龍騰科技正準備推廣的一項資料空間,這個空間我們叫它World Wide Web。 我們發明了一套協議,叫超文字傳輸協議,當然,目前協議還正在制定中,大家只需要知道,如果按照我們的這套協議來做的,可以做出同意地資源模式,這樣我們大家制作資源的方式就大大增加了。 那時你們會發現這個世界不是隻有ftp這一種模式的。 ”
“哦”教室裡面又響起一陣驚歎,這個時候張國棟才發現不知道什麼時候30幾個人的小教室裡面竟然擠進來了80幾個人,這實在讓張國棟有點汗顏。 “那你們打算怎麼收費呢?”一個性急的傢伙問出了大家的心聲。
“技術是需要大家共享的,我們龍騰擁有早期的駭客文化精髓,所以我們準備將這套協議推廣後免費向世界使用者開放,可以讓世界上所以喜歡計算機地朋友都製作出他們喜歡的網頁。 我們希望透過這個空間為大家提供一個娛樂的地方。 ”張國棟這傢伙肚子裡面簡直笑翻了,要知道原本全球資訊網可是號稱師姐理工大學之最稱號的麻省理工學院MIT電腦科學實驗室成立的,而且被建立起來後一開始就是免費策略。 不過也幸虧是免費,不然誰也不能保證全球資訊網是否會成為標準。 現在張國棟兜售這個免費的概念,顯然是得了便宜還賣乖。
“你們實在是太偉大了,要知道我們用你們地電子郵箱就已經方便了我們的生活了,真希望大學畢業後能進入到你們這樣的公司。 ”老天,說實話,這可不是張國棟找的托兒啊,何況這個托兒還是一個身材火辣的美國小妞。
“呵呵。 我也希望你能加入我們的團隊。 要知道這可以吸引很多優秀的男士加盟。 ”常年在美國生活的張國棟顯然非常熟悉美國人的性格,所以開了個不大不小的玩笑。 然後又繼續說道,“每一個人地電腦儲存空間畢竟有限,所以網路給我們最大地好處便是交流和共享,我想任何有志於在這方面做出一點成績的人都能取得成功。 我們到時候也會開通一個這方面地創業基金,希望有志於從事網路創業的方面能夠踴躍申請,只要你有好的idea,只要你有良好的合作團隊,只要你能做出一份完整的策劃,你都有可能贏得我們的創業基金的支援哦。 ”其實後面這段張國棟基本上沒講什麼應用,完全是空話和套話,要知道這可是後世中國發表論文的絕對招數,不像老外,論文裡面通常都有大量的實驗資料的論證,現在的美國佬當然不知道張國棟耍了個花槍,他們還沉浸在張國棟畫的畫餅中呢。
第二天張國棟如願的帶著自己的技術團隊奔赴Intel進行合作洽談和學習,虞有程果然比較有面子,來負責為張國棟他們講解的是Intel的資深工程師,對整個Intel的晶圓生產流程都有著嚴格的瞭解以及自己獨到的見解。
“各位,請穿上面前的無塵衣,我們馬上進入我們的潔淨室。 我聽總裁先生說了,貴公司也建立了潔淨室。 不過和我們的潔淨室要求不一樣。 一般地機械加工是不需要潔淨室的,因為加工解析度在數十微米以上,遠比日常環境的微塵顆粒為大。 但進入半導體元件或微細加工的世界,空間單位都是以微米計算,因此微塵顆粒沾附在製作半導體元件的晶圓上,便有可能影響到其上精密導線佈局的樣式,造成電性短路或斷路的嚴重後果。 所以我們建立了這個潔淨室。 更是為潔淨程度建立了一系列地標準。 你們面前的這個潔淨室其費用就高達數億美元。 ”可能這廝是典型地白人思維,骨子裡應該是看不起黃種人的。 當說到數億美元的時候眼中帶著些許的嘲笑和挑釁,張國棟當然知道他們是什麼意思。 可惜其它的技術員都沉醉於這個超現代化的潔淨室裡面,那是一種你不身臨其境絕對不會感受到的震撼,儘管龍騰也有自己地潔淨室,但是就像這傢伙說的這樣,不是一個等級的。 更何況平常也只有一些需要做佈局的技術員才會去用潔淨室,主要是由於進入潔淨室太麻煩。 到現在他們才知道,原來細節決定了一切。
“我們Intel有規定,所有的半導體制程裝置,都必須安置在隔絕粉塵進入的密閉空間中,這就是潔淨室的來由。 潔淨室的潔淨等級,有一個公認地標準,以class 10為例,意謂在單位立方英呎的潔淨室空間內。 平均只有粒徑0.5微米以上的粉塵10粒。 而我們Intel要求的是1-2粒。 ”說完帶著一種自豪的眼光望著眼前那充滿了科幻氣息一種朦朧美的廠房,地確,他們有驕傲的理由,要知道class後頭數字越小,潔淨度越佳,其造價也越昂貴。 龍騰科技的潔淨室是要求最低級別的。
這個時候張國棟注意到牆上有一個霓虹燈打出來的相關技術與使用管理辦法。
“1、內部要保持大於一大氣壓的環境,以確保粉塵只出不進。 (所以需要大型鼓風機,將經濾網的空氣源源不絕地打入潔淨室中)
2、保持溫度與溼度的恆定(為了保持這個恆定,大型空調裝置須搭配於前述之鼓風加壓系統中。 換言之,鼓風機加壓多久,冷氣空調也開多久。 這也就是一個同步的問題)
3、所有氣流方向均由上往下為主(這一點相當的嚴格,必須儘量減少突兀之室內空間設計或機臺擺放調配,使粉塵在潔淨室內迴旋停滯地機會與時間減至最低程度。 )
4、所有建材均以不易產生靜電吸附地材質為主。 (這在87年的中國有點難度,不過軍事上應該有相關地建材,張國棟應該能搞定)
5、所有人事物進出。 都必須經過空氣吹浴 (air shower) 的程式。 將表面粉塵先行去除。 (這也是龍騰科技的標準程式)
6、進出使用人員必須穿戴無塵衣,除了眼睛部位外。 均需與外界隔絕接觸(人體及衣物的毛屑是一項主要粉塵來源,為此務必嚴格要求穿戴無塵衣,就像現在他們進來,而在次微米制程技術的工廠內,工作人員幾乎穿戴得像航天員一樣。 當然,化妝是在禁絕之內,鉛筆等也禁止使用。 )
7、使用水只能限用去離子水 (DI water, de-ionized water)。 (這是除了空氣以外的又一則嚴格要求!一來防止水中粉粒汙染晶圓,二來防止水中重金屬離子,如鉀、鈉離子汙染金氧半 (MOS) 電晶體結構之帶電載子通道 (carrier channel),影響半導體元件的工作特性。 去離子水以電阻率 (resistivity) 來定義好壞,一般要求至17.5MΩ-cm以上才算合格;為此需動用多重離子交換樹脂、RO逆滲透、與UV紫外線殺菌等重重關卡,才能放行使用。 由於去離子水是最佳的溶劑與清潔劑,其在半導體工業之使用量極為驚人!所以張國棟又多了一項扶植下游產業的機會!)
8、潔淨室所有用得到的氣源,包括吹乾晶圓及機臺空壓所需要的,都得使用氮氣 (98),吹乾晶圓的氮氣要求99.8以上的高純氮!”
看著上面的規定,張國棟長長的舒了一口氣,這樣的規定,這樣的細節,張國棟知道其實還有諸如汙水處理,廢氣排放等環保問題,這也需要大規模的投入,後世的意法半導體就是以環境保護措施施行嚴格聞名的。
很顯然,從初步震撼中回神的技術員們也看到了牆上的規定,也許別的他們不知道,可是那個限用重離子水和99.8的純氮就讓他們吃驚得舌頭都要吐出來了。 那位小白同志顯然對自己造成的震撼也比較滿意,不過當他看到張國棟那若無其事的樣子後心中又微微的不服氣起來,儘管他聽總裁說眼前這傢伙也算是一個大老闆了。
好在龍騰科技已經有了初步的潔淨室了,雖然可能沒有辦法提升到Intel這種比較變態的class1級,但是從class10到class5應該還是不難的,只要再增添一些裝置,然後在某些設計方面做些必要的改進,對管理進行得更加嚴格一些應該就沒問題了。 張國棟是暗暗下定決心,回到深圳後一定要將潔淨室的等級給提上去,細節決定成敗,既然目前龍騰科技沒辦法弄到1.5微米的生產線,那麼就在細節上下功夫!
隨著小白同志的帶領,張國棟他們進入到矽晶圓的製作室,矽晶圓是一切積體電路晶片的製作母材料。
“我們Intel採用的是柴可拉斯基拉晶法(CZ法),你們看,現在機器正在進行拉晶,首先要將特定晶向的晶種浸入過飽和的純矽熔湯中,然後同時旋轉拉出,矽原子便會依照晶種的晶向,乖乖的一層層往上漲,你們看,那兒,就是得到的晶棒。 當然我們Intel是不會使用這種原始的晶棒的,我們一般會採用FZ法將之再結晶,將雜質逐出,提高純度與阻值。 ”
“各位,看看這裡吧,這是對晶棒進行機械加工修邊,畢竟剛剛拉出的晶棒外徑可不會一致,修完邊後我們便用X光繞射法定住主切面的所在,磨出該平面,再以內刃環鋸,削下一片片的矽晶圓。 最後經過粗磨 (lapping)、化學蝕平 (chemical etching) 與拋光 (polishing) 等程式,得出具表面粗糙度在0.3微米以下拋光面之晶圓(至於晶圓厚度,與其外徑有關) 。 ”
“各位,我給你們講解得這樣細緻就是知道,即使給你們我們Intel一模一樣的裝置你們也不可能複製我們Intel的奇蹟,要知道我們做到今天這一步可是經過了快20年的積累,有的時候經驗這個東西不是你想學就能學會的。 你們看,如此現代化的裝置多麼令人迷醉,那麼是擁有那麼迷人的藝術氣息,各位,難道你們不感嘆麼?”看得出,該小白是個裝置狂,不過張國棟對於他說得也微微贊同,確實,即使將Intel的裝置原樣不動的搬到中國也同樣生產不出達標的晶圓,說到底還是人的因素,經驗這東西是需要摸索和沉澱的。 看看後世大眾和上汽的合作,一模一樣的零件就是生產不出讓人滿意的質量的汽車就可以知道,其實無論現代化程序有多高,人才是決定一切的因素。
“接下來,我會給你介紹一些裝置,希望能讓你們有所收穫。 ”